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清除表面粒子可用兩種方法:用壓縮空氣吹;用水或
隋性溶劑快速沖洗。清除這種粒狀物質(zhì)的難度,與日常清
掃汽車相似,即使高速行駛,汽車表面的粒狀物質(zhì)也只是
小部分被“吹掉”。或許這種比喻不怎么恰當(dāng),因為在汽
車表面沉積了一層趨于增加粘附力的有機膜,當(dāng)然在硅片
上也是沉積了一層有機膜。如果有人想用軟管的水流(沒
有肥皂的)洗掉汽車上的塵土,那么經(jīng)驗說明,即使水流
壓力再高也達(dá)不到目的的。
使顆粒與基片產(chǎn)生所謂粘附的究竟是些什么力呢?對
引起粘附的力可以進(jìn)行理論上的探討。
有三種力可能影響總粘附力:
分子間相互作用力。
這種力就是已經(jīng)討論過的倫敦漂移力,即分子間力。當(dāng)粒
子與表面距離約在分子直徑100 倍之內(nèi)時,這種分子間力
是重要的。
計算此力的因素有粒子尺寸、實際接觸面積、表面粗
糙度、粒子和表面的化學(xué)成分。
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