---
---
---(點擊查看產(chǎn)品報價)
本文標(biāo)題："微電子學(xué)分析儀器的組合式多功能金相顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2015-6-22 1:45:01 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
微電子學(xué)分析儀器的組合式多功能金相顯微鏡
分析儀器的組合
在微電子學(xué)領(lǐng)域，為了取得同一試樣的兩種不同結(jié)論，對污染
乩化學(xué)檢驗和分析必須有更多的分析方法。
試樣采集和制備
試樣的采集和制備是化學(xué)檢驗、分析的重要課題。 在試樣
采集時，必須十分小心，不讓試樣沾污。最基本的是使用標(biāo)準(zhǔn)試
樣。兩個相同試樣的選擇：一個留作專用；另一個根據(jù)需要使用
。
由于容器和試樣間的相互作用，儲存試樣時也會引起污染。
儲存在玻璃器皿中的液體可濾出大量鈉和其它物質(zhì)，水溶液中的
某些元素易被容壁吸收，這樣，幾天后容器中的濃度顯著下降，
有些塑料容器有增塑劑，這種增塑劑使儲存的液體沾污，塑料管
通過容器把增塑劑引入液體。
容器和試樣的加工材料應(yīng)按試樣類型、難度和所用儀表進行
選擇。 如果對有機物質(zhì)和無機物質(zhì)都要進行檢測，那么必須采
用兩種試樣和加工系統(tǒng)、輻射光譜學(xué)租X—射線熒光光譜學(xué)對有
機物質(zhì)來說不是很靈敏的，而紅外分光光度計和氣體色譜學(xué)對無
機
通常，采用這種分析方法時是利用襯底作試樣的載體或集電極，
在微電子制造工藝中用做襯底的有玻璃滑片、高純金屬小片(例
如鋁)、特別是加工過的石墨棒和薄片以及硅圓片等。
分析前清洗試樣，有時是必要的，但往往是有害的。被發(fā)現(xiàn)
的表面污染，在清洗時只能洗掉那些特別明顯的地方，而那些應(yīng)
該清洗的混合物殘渣往往可能沒有洗掉。 例如蝕刻時，氟氫酸
在硅表面留下的少量氟殘渣。 若徹底沖洗仍未洗掉殘渣，則只
能用高溫處理、 制備試樣的分析不僅要考慮什么是必需去掉的
，而且也要考慮什么是首先應(yīng)該去掉的(例如某些雜質(zhì))，以及什
么是可以作為干涉殘渣留下的。
加工時，還必須考慮保存試樣的方法。 容器不應(yīng)在化學(xué)上
妨礙分析，在采用塑料和膠合劑時，就要考慮這一問題。有時可
用氧化鋅作填料，用此類膠合劑保存的試樣，在搜索污染中往往
發(fā)現(xiàn)虛報現(xiàn)象。
總之，取得試樣的主要目的在于采集材料，如果沒有附加污
染物，這種材料能準(zhǔn)確代表現(xiàn)有污染，并可用選定的分析方法計
數(shù)和測量。取得試樣的方法與檢測雜質(zhì)類型、所用儀器有密切關(guān)
系
所有資料用于交流學(xué)習(xí)之用，如有版權(quán)問題請聯(lián)系，禁止復(fù)制,轉(zhuǎn)載注明地址
上海光學(xué)儀器一廠-專業(yè)顯微鏡制造商 提供最合理的顯微鏡價格
合作站點：http://www.sgaaa.com/顯微鏡百科