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本文標(biāo)題："金屬化圖形表面的粒狀物粗糙度測量顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2015-6-23 1:09:26 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
金屬化圖形表面的粒狀物粗糙度測量顯微鏡
由于電子轟擊效應(yīng)或者與等離子體的相互作用，玻璃
也能去氣。
當(dāng)制造薄膜型儀器或金屬化圖形時，將金屬蒸發(fā)或濺
射到玻璃上面，上述現(xiàn)象是很重要的。
表面的粒狀物質(zhì)由于表面普遍存在粒子污染，所以凈
化問題急需解決。其原因是對電子器件所需潔凈度，以及
怎樣徹底清除粒子的技術(shù)了解甚少，只認(rèn)為這是一般的問
題。
雖然有了高效過濾器，并在潔凈室的設(shè)計中得到了應(yīng)
用，但是，要使表面完全沒有灰塵或其它粒狀物質(zhì)，實際
上這是不可能的。即使只在層流罩內(nèi)放幾天，在顯微鏡黑
色管筒上也能看到粒狀物質(zhì)。同樣，將硅片在標(biāo)準(zhǔn)罩內(nèi)存
放一星期，由于選擇性的粒子污染，硅表面出現(xiàn)了鈉原子。
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