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本文標題："微型化傳感器的尺寸-集成化微電子檢測顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2016-9-17 1:28:03 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
微型化傳感器的尺寸-集成化微電子檢測顯微鏡
集成化是指借助于微電子和MEMS(Micro Electro—Mechanical Sys
tem，微機電系統(tǒng))技術中的微細加工技術(如光刻、腐蝕、蒸鍍、
電火花加工、線切割以及LIGA工藝等)，將單一功能的傳感器與其
他傳感器或執(zhí)行器、信號處理元件以及電路集成在一起，甚至一個
芯片中，使之成為一種全固體化的功能器件。
多功能是指將原本多個傳感器完成的功能集成在一個傳感器中
，使之具有更多的功能。傳感器的多功能化通常是在集成化的基礎
上實現(xiàn)的。
微型化是指傳感器的尺寸極度縮小，典型的有各種MEMS傳感器
。由于尺寸向微小型化發(fā)展，使得傳感器不僅具有體積小、功耗低
等常規(guī)傳感器所不具備的特點，而且由于尺度效應，能夠呈現(xiàn)許多
新的物理性質(zhì)，因而MEMS傳感器能被用于許多特殊的場合。
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