---
---
---(點(diǎn)擊查看產(chǎn)品報(bào)價(jià))
本文標(biāo)題："光學(xué)比較顯微鏡-對(duì)比不同樣品的區(qū)別軟件"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-12-8 1:50:57 本站主頁(yè)地址：http://m.vndmy.cn
光學(xué)比較顯微鏡-對(duì)比不同樣品的區(qū)別軟件
光學(xué)比較法
這種方法的工作原理是將兩塊掩膜版
進(jìn)行比較以尋找兩者之間的差別。兩塊掩
膜版分別放在平臺(tái)上，然后分別由經(jīng)過(guò)濾
色后成，為互補(bǔ)色的兩個(gè)光源照明，將兩塊掩膜版
的圖形進(jìn)行重疊，造成顯微鏡中的明場(chǎng)和
暗場(chǎng)的匹配區(qū)域。假如兩塊掩膜的某一塊
出現(xiàn)圖形上的變化，就會(huì)以這塊掩膜版所照射的光源的顏色顯示
出來(lái)。人的眼睛對(duì)于圖形的差別是非常敏感的，因此一旦在掩膜版
上出現(xiàn)缺陷或者圖形異常，將會(huì)很快被檢查出來(lái)。但使用光學(xué)比
較法來(lái)發(fā)現(xiàn)缺陷，其代價(jià)是很高的，因?yàn)?1.套準(zhǔn)必須最佳，但
這是很花費(fèi)時(shí)間的，2。操作過(guò)程很難實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，3.需要特別高
的機(jī)械精度。
上述這些問(wèn)題是很重要的，因此光學(xué)比較器現(xiàn)在一般仍用于
檢驗(yàn)一些特別重要的領(lǐng)域，如臨界尺寸檢驗(yàn)和線(xiàn)條寬度變化等。
所有資料用于交流學(xué)習(xí)之用，如有版權(quán)問(wèn)題請(qǐng)聯(lián)系，禁止復(fù)制,轉(zhuǎn)載注明地址
上海光學(xué)儀器一廠(chǎng)-專(zhuān)業(yè)顯微鏡制造商 提供最合理的顯微鏡價(jià)格
合作站點(diǎn)：http://www.sgaaa.com/顯微鏡百科