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本文標(biāo)題："使用高精度的測量光學(xué)顯微鏡檢測樣品質(zhì)量"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-11-12 17:41:54 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
使用高精度的測量光學(xué)顯微鏡檢測樣品質(zhì)量
傳感器的檢測精度
掃描基準(zhǔn)的運(yùn)動精度
在現(xiàn)有的精密檢測技術(shù)條件下，要求現(xiàn)高精度的檢測，則需
亞微米級精度的變位計和能測量出0.1s數(shù)據(jù)精度的角度計，但
是，以高精度的掃描基準(zhǔn)來進(jìn)行測量是非常困難的，因為掃描
形狀測量的精度是由掃描引導(dǎo)的運(yùn)動精度決定。
工作機(jī)械直線運(yùn)動機(jī)構(gòu)的高精度化是精密檢測技術(shù)的保證，
運(yùn)動機(jī)構(gòu)的運(yùn)動誤差是評價精度必要的手段。高精度的直定規(guī)
等是測量運(yùn)動基準(zhǔn)的最后一般辦法，但在測量移動范圍很大的
計測法等，開發(fā)出了以激光光線為基準(zhǔn)的測量法。
在掃描檢測方法中，在獲取工件形狀信息的同時，引導(dǎo)機(jī)構(gòu)的
運(yùn)動誤差也同時被檢測并包含檢測結(jié)果中，則須通過誤差分離
方法，將工件的形狀信息和引導(dǎo)誤差進(jìn)行分離。機(jī)床的運(yùn)動精
度一般需要進(jìn)行在線有測量才比較可靠。在掃描測量方法中，
在將引導(dǎo)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動誤差分離之后，才可以使用高精度的測量
儀器對工件誤差進(jìn)行評價。同樣，測量基準(zhǔn)對納米計測來說也
是相當(dāng)重要的。
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