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本文標(biāo)題："輪廓儀橫向分辨率一般來說低于光學(xué)顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-11-11 12:32:17 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
輪廓儀橫向分辨率一般來說低于光學(xué)顯微鏡
接觸式輪廓儀
探針輪廓儀和掃描探針顯微鏡，通常都稱為接觸式輪廓儀或者觸摸
式傳感器，因?yàn)樗鼈兌际鞘褂靡粋�(gè)探針來對測量對象的表面進(jìn)行掃描
。現(xiàn)在，施加在探針尖上的力已經(jīng)非常小了，以至于很難再將其稱為
接觸式儀器。這類儀器的測量速度很低，橫向分辨率則相當(dāng)高，
不過一般來說低于光學(xué)顯微鏡。作為最早得到發(fā)展的探針輪廓儀，其制造
成本不高。也便于使用，因此在許多機(jī)械和光學(xué)車間中作為標(biāo)準(zhǔn)配備
。掃描探針顯微鏡的發(fā)展要相對晚一些，但是由于其具有亞納米量級(jí)
的縱向和橫向分辨率，現(xiàn)在該設(shè)備地實(shí)驗(yàn)室和半導(dǎo)體及微機(jī)電系儀
，該儀器能夠在掃描模式下工作。
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