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本文標(biāo)題："精確激光測量儀-表面粗糙度測量儀器"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-8-24 23:02:19 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
精確激光測量儀-表面粗糙度測量儀器
激光測量系統(tǒng)提供給機床制造商和用戶機床精度定位必要的基本的側(cè)量組成
部件，使用補償數(shù)據(jù)校正機械的定位誤差。其基本系統(tǒng)包括一個激光光源、補償
電子器件、光學(xué)器件、電纜及配件。通常需要一臺計算機控制系統(tǒng)和光學(xué)部件滿
足機械幾何性能的具體測量要求。為了校準(zhǔn)，整個系統(tǒng)應(yīng)能夠收集和分析不同的
測量數(shù)據(jù)，包括線性誤差、角度誤差、直線度誤差和垂直度誤差。一個線性激光
的測量分辨率可高達1nm。這是測量過程可以實現(xiàn)的高精度，它使用了以精確激
光波長為基礎(chǔ)的距離測量計算，從而相比其他的測量系統(tǒng)具有更高的精度。兩頻
率激光技術(shù)還經(jīng)常用來消除光束強度變化所造成的種種問題，從而得到更好的魯
棒性和可靠性。激光束基本上沿著干涉儀和相關(guān)反射鏡之間做相對運動，所以大
多數(shù)激光測量系統(tǒng)進行的測量是一種線性測金。大多數(shù)情況下，干涉測量儀是固
定的光纖，角錐梭鏡是移動部件。其他測量如角度、直線度和垂直度測金，是基
本線性測量實現(xiàn)的特殊應(yīng)用。在許多激光測量系統(tǒng)中，誤差補償表在激光測量和
控制輸人獲得后可以自動生成。這些表可用于伺服系統(tǒng)。
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