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掃描電子
顯微鏡是利用樣品吸收的電流來產(chǎn)生圖像
掃描電子顯微鏡(SEM) (亦即聚焦的電子束掃過樣品表面。而不是透射通過
樣品)的原理于1935年首先由克勞爾提出。在隨后的3年內(nèi).V.安德烈采納了
用基于時間一位置的電流產(chǎn)生和檢側(cè)來建立圖像的概念,并建成了第一臺掃
描電子顯微鏡。首臺儀器利用了兩個磁透鏡來提供樣品表面上的小電子斑點
。
然而.第一臺掃描電子顯微鏡是利用樣品吸收的電流來產(chǎn)生圖像。直到7年后
的1942年,RCA公司的施弗里金(Zworykin )席勒爾(Hiller)和斯里德(Sny-d
er)才使用了搜集表面發(fā)射出的電子的檢側(cè)器。這個被搜集的電子信號用來
建立與時間一位置相關(guān)的信號。這一技術(shù)是所有現(xiàn)代掃描電子顯微鏡工作的
基礎(chǔ)
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