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本文標(biāo)題："偏振光檢測(cè)儀器有哪些優(yōu)點(diǎn)-測(cè)量精度高顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-3-29 21:19:28 本站主頁(yè)地址：http://m.vndmy.cn
偏振光檢測(cè)儀器有哪些優(yōu)點(diǎn)-測(cè)量精度高顯微鏡
橢圓偏振法是一種用于研究?jī)山橘|(zhì)間界面、表面或薄膜中光學(xué)性
質(zhì)變化的技術(shù)。橢圓偏振法的原理是用偏振光束在分界面上的反射和
透射出現(xiàn)的偏振變換。
這種方法具有檢測(cè)過(guò)程非破壞性以及測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn)。橢圓偏
振法的應(yīng)用涉及到物理、化學(xué)、材料學(xué)、生物學(xué)、光學(xué)、電子學(xué)等非
常廣泛的領(lǐng)域。在半導(dǎo)體材料的測(cè)試技術(shù)中，橢圓偏振法可以用來(lái)測(cè)
量薄膜厚度、折射率等參數(shù)。
眾所周知，一束單色光經(jīng)過(guò)樣片表面反射后，其光振動(dòng)的振幅和
位相都會(huì)發(fā)生相應(yīng)的變化，變化的程度與樣片薄膜的厚度、折射率及
樣片襯底的折射率等因素有關(guān)。
因此，可能根據(jù)這一特性來(lái)測(cè)量薄膜的厚度以及折射率等參數(shù)。
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