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精細(xì)加工鑲嵌輔助儀器-表面微細(xì)紋測(cè)定
顯微鏡
光學(xué)玻璃上成型微孔。本微鉆孔機(jī)包含了精密Z軸伺服系統(tǒng)、完整的研鉆機(jī)制、
逆向放電加工設(shè)備、復(fù)合式工作槽及荷重元感測(cè)機(jī)制。透過(guò)雙主
軸及雙V型軸承設(shè)計(jì)與逆向微放電加工的應(yīng)用,
將鉆石磨棒加工出完全同心微孔及六刃負(fù)后斜角。六刃負(fù)后斜角可在研鉆過(guò)程中提供壓
應(yīng)力切削;納米等級(jí)的切削深度能將脆性材料以延性模式加工;
荷重元感測(cè)機(jī)制提供了實(shí)時(shí)的鉆削力偵測(cè)及精確的反饋機(jī)制,
確保研鉆時(shí)能有最佳的進(jìn)給率,以防止微細(xì)裂紋與擴(kuò)孔現(xiàn)象的發(fā)生。
此外,犧牲層也能支撐光學(xué)玻璃,抑制崩裂的發(fā)生。
刀具壽命部分,透過(guò)刀具切刃之平均磨耗深度與加工次數(shù)
的計(jì)算估計(jì),得到刀具加工壽命約為30次。
相較于目前市面上所使用的加工方法,如超音波震動(dòng)輔助
加工,或是化學(xué)蝕刻,本研究所開發(fā)之研鉆技術(shù)提供了一簡(jiǎn)易、低成本、
環(huán)保且易于控制的方法來(lái)對(duì)光學(xué)玻璃鉆孔,
預(yù)計(jì)此研鉆技術(shù)的相關(guān)特性將可對(duì)精密微制造領(lǐng)域產(chǎn)生極大的貢獻(xiàn)
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