---
---
---(點(diǎn)擊查看產(chǎn)品報(bào)價(jià))
本文標(biāo)題："微影制程檢測(cè)工業(yè)顯微鏡-減少圖形偏移"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2013-6-12 15:20:58 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
微影制程檢測(cè)工業(yè)顯微鏡-減少圖形偏移
微影制程中，曝光機(jī)在執(zhí)行基板粗對(duì)位(coarse alignment)時(shí)的誤差精度準(zhǔn)確與否，
將影響生產(chǎn)的產(chǎn)量及順暢性。粗對(duì)位誤差越小越好，不佳的誤差將導(dǎo)致對(duì)位時(shí)間過久，增加生產(chǎn)的時(shí)間成本。粗對(duì)位誤差過大時(shí)，甚至將無法對(duì)位，
需要以人工方式確認(rèn)處理，增加品質(zhì)風(fēng)險(xiǎn)。若處理人員判斷錯(cuò)誤，
更有可能造成曝錯(cuò)，造成產(chǎn)品圖形偏移
機(jī)臺(tái)內(nèi)機(jī)構(gòu)的精度誤差，會(huì)因?yàn)殚L(zhǎng)時(shí)間而累積。目前業(yè)界尚無可以針對(duì)曝光機(jī)粗對(duì)
位誤差進(jìn)行長(zhǎng)期監(jiān)控的系統(tǒng)，亦無法立即發(fā)現(xiàn)異常來調(diào)整補(bǔ)正。當(dāng)發(fā)現(xiàn)問題時(shí)，需要
針對(duì)各個(gè)單元一一澄清，若無法即時(shí)修正并改善，長(zhǎng)期下來將損失很多產(chǎn)能。
首先收集機(jī)臺(tái)生產(chǎn)資料，分析對(duì)位誤差
與對(duì)位時(shí)間的關(guān)系；并收集歷史露光中心補(bǔ)正調(diào)整與對(duì)位誤差的相關(guān)資料，以倒傳遞
類神經(jīng)網(wǎng)路演算模式，訓(xùn)練并建立出調(diào)整補(bǔ)正量與粗對(duì)位誤差間的關(guān)系，改善現(xiàn)行靠人力判斷的方式，
減少補(bǔ)值后的誤差，增加調(diào)整后的對(duì)位精度，維持一個(gè)良好的狀
況，增加機(jī)臺(tái)生產(chǎn)的順暢性。
在制程監(jiān)控方面，套入多變量統(tǒng)計(jì)分析的概念，模擬出五項(xiàng)對(duì)位誤差數(shù)據(jù)之間的影響關(guān)系，
訓(xùn)練出較佳的管制規(guī)格，以此規(guī)格監(jiān)控實(shí)際生產(chǎn)時(shí)的粗對(duì)位誤差，提早發(fā)現(xiàn)異常點(diǎn)并即時(shí)處理。
粗對(duì)位誤差產(chǎn)生的原因，建立出精確可靠的誤差估測(cè)方式，以解決目前業(yè)者無法監(jiān)控，
免于大量產(chǎn)品對(duì)位時(shí)間過長(zhǎng)的情況發(fā)生
所有資料用于交流學(xué)習(xí)之用，如有版權(quán)問題請(qǐng)聯(lián)系，禁止復(fù)制,轉(zhuǎn)載注明地址
上海光學(xué)儀器一廠-專業(yè)顯微鏡制造商 提供最合理的顯微鏡價(jià)格
合作站點(diǎn)：http://www.sgaaa.com/顯微鏡百科
下一篇：樹脂封裝制程輔助立體顯微鏡廠商