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試片表面粗糙度測量-CCD的感光能力
CCD的感光能力相當(dāng)廣泛,從紫光到紅光,甚至紅外線都可以感光,因此CCD本身是只能感受光線強(qiáng)弱,
無法區(qū)分顏色,需要在CCD前安置一層彩色濾光片,限制進(jìn)入單一感光元件的光線種類,舉例來說,
如果在鏡頭前裝上一片紅色的濾光片,限制紅光以外的光線進(jìn)入,那么CCD所感測的就只有紅光的強(qiáng)度
,如果換上綠色的濾光片,那就能量測綠光的強(qiáng)度,換上藍(lán)色濾光片,
就能量測藍(lán)光的強(qiáng)度。測得RGB三色的個(gè)別強(qiáng)度,就可以還原出近似人類眼中的彩色影像
(人眼的三種感色細(xì)胞也是對RGB三色最敏感)。
但是同一個(gè)時(shí)間要獲得RGB三張完整的影像再于與組合實(shí)在有困難,因此一般濾光片是采取R-G-G-B的配置,
也就是以四個(gè)相鄰感光元件為一組,一個(gè)感測紅色,兩個(gè)感測綠色,
一個(gè)感測藍(lán)色,每個(gè)感光元件只能感測RGB其中一種顏色,至于其他兩種沒測得的顏色,
只好根據(jù)相鄰元件所測得的值來推算。所幸大部分的情況下,相鄰的點(diǎn)顏色變化不大,
因此利用相鄰的點(diǎn)來推算本身未測得的顏色都能得到不錯的效果。
散射的能量有急劇擴(kuò)大趨勢,且有呈現(xiàn)不規(guī)律的狀態(tài),其主因?yàn)楫?dāng)表面粗糙度值已遠(yuǎn)大于入射光波長時(shí),
使得光源經(jīng)表面時(shí)會將所有光散射掉而沒有鏡面反射,稱之為漫射;此外,超精密加工有其加工極限限制,
而實(shí)驗(yàn)進(jìn)行所設(shè)定之主軸轉(zhuǎn)速為2400rpm,當(dāng)進(jìn)給率過大時(shí),會使刀具前進(jìn)的速度大于主軸旋轉(zhuǎn)一周的速度,
造成斷切削的情形,而所測得的光反應(yīng)則為試片制成過程中所遺留下來的原始表面粗糙度值與超精密加工的斷切削總和
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