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本文標題："量測工具顯微鏡的微粒直徑范圍為100 nm-1mm"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-3-21 2:52:40 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
量測工具顯微鏡的微粒直徑范圍為100 nm-1mm
在晶圓表面上的奈米級微粒的粒徑和分布是半導體制程中相當重要的檢測參數(shù)。
針對此需求，工研院量測中心發(fā)展出一套奈米級的多方位偏振散射光量測儀，
使用一個可四個角度旋轉的多方向調整機構來量測由晶圓表面上奈米微粒的偏振散射光，
再經(jīng)由此散射光的Mueller 矩陣來計算和分辨奈米微粒的粒徑大小，
其可量測的微粒直徑范圍為100 nm-1mm，并可承載4-8吋的晶圓進行量測。
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