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含藍寶石單晶晶體退火后強度與表面形態(tài)研究及以析出硬化方式達到強度增強的效果。
針對 c 平面藍寶石單晶的等雙軸強度性質(zhì),運用兩種不同的溫度和持溫的時間控制實施退火,
然后再用自組裝的超合金環(huán)對環(huán)等雙軸高溫測試模具組量測藍寶石晶體的室溫及高溫的等雙軸強度。
以原子力
顯微鏡觀察藍寶石單晶晶體的表面形貌及觀察破裂后藍寶石單晶圓片的形態(tài)來瞭解強度和退火的溫度及時間的關(guān)系。
結(jié)果顯示,熱處理的方法會影響到晶體表面或次表面的微結(jié)構(gòu),藉由微裂縫的消除或是氧原子空孔的改變或鄰位刻面的多樣性的不同而有不同的強度值,
因此,表面階梯結(jié)構(gòu)密度和強度有關(guān)。最后,以熱蒸鍍鍍制鎂膜的方式在藍寶石單晶晶體表面上成薄膜后,
再以碳熱制程的方法使其在藍寶石單晶晶體上自發(fā)形成氧化鎂及鎂鋁尖晶石析出的混合層,
評估在藍寶石單晶內(nèi)部形成鎂鋁尖晶石來強化藍寶石單晶晶體室溫及 600oC 的強度
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