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傳統(tǒng)式剖面研磨
原理:
樣品剖面研磨屬于破壞性實(shí)驗(yàn),利用砂紙(或鉆石砂紙)作研磨,加上后續(xù)拋光,可處理出清晰的樣品剖面,是種快速的樣品制備方法,搭配后續(xù)的檢測(cè)設(shè)備(光學(xué)
顯微鏡或掃描式電子顯微鏡)可以觀察樣品之剖面結(jié)構(gòu)。除了一般IC結(jié)構(gòu)觀察外,像是PCB、PCBA或LED等各式樣品皆可藉由此方法,進(jìn)行樣品剖面觀察。
樣品剖面研磨之基本流程:
切割:利用切割機(jī)裁將樣品裁切成適當(dāng)尺寸
冷埋:利用混合膠填滿(mǎn)樣品隙縫,增強(qiáng)樣品之結(jié)構(gòu)強(qiáng)度,避免受研磨應(yīng)力而造樣品毀損
研磨:樣品以不同粗細(xì)之砂紙(或鉆石砂紙),進(jìn)行研磨
拋光:于絨布轉(zhuǎn)盤(pán)上加入適當(dāng)?shù)膾伖庖,進(jìn)行拋光以消除研磨所殘留的細(xì)微刮痕
應(yīng)用:
IC之產(chǎn)品,如覆晶封裝( Flip Chip)、鋁/銅制程結(jié)構(gòu)、C-MOS Image Sensor
PCB/PCBA等各種板材或成品
LED成品
實(shí)驗(yàn)?zāi)康?/div>
利用鋼料內(nèi)部所含碳量及各種合金元素成分的不同,于高速旋轉(zhuǎn)中的砂輪家以研磨時(shí),由產(chǎn)生的火花所表現(xiàn)的特質(zhì),判斷鋼料的種類(lèi)
實(shí)驗(yàn)設(shè)備
火花試驗(yàn)柜:內(nèi)部背景為黑色,以更清楚觀測(cè)火花。砂輪機(jī):與試驗(yàn)棒摩擦,產(chǎn)生火花。標(biāo)準(zhǔn)試棒:已知成份的各種鋼棒。直徑∮= 12 mm長(zhǎng)度t = 120 mm安全眼鏡:防止粉屑飛入眼睛,且易于清楚觀察
實(shí)驗(yàn)原理
1.鋼材與旋轉(zhuǎn)的砂輪接觸,鋼料被切削產(chǎn)生無(wú)救的微細(xì)屑片,因摩擦屑片溫度很高,又處于空氣中產(chǎn)生氧化作用,使得溫度更形提升,而形成一條條光亮的線(xiàn)條。
2.若鋼料含有碳元素,會(huì)氧化成CO 2 氣體,而產(chǎn)生”火花”碳含量愈高,火花數(shù)量就愈多。
3.利用顯微鏡觀察磨屑,發(fā)現(xiàn)磨屑為球形小粒,且有一爆破處證明”火花”是因碳氧化成CO 2 ,產(chǎn)生高壓氣體而達(dá)到爆炸的程度。
4.火花束可分為三段
碳鋼火花的特征以火花的數(shù)目、大小、明亮度作為最有效的判別標(biāo)準(zhǔn)
碳鋼火花的特征(碳之火花分枝)
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