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本文標(biāo)題："光學(xué)顯微鏡、電子掃描顯微鏡、 雷射掃描顯微鏡三者特色為何？"

光學(xué)顯微鏡、電子掃描顯微鏡、 雷射掃描顯微鏡三者特色為何？
A:  對(duì)于表面微小形狀產(chǎn)品的觀察，不外乎利用光學(xué)顯微量測(cè)顯微鏡或是電子顯微鏡，如果利用光學(xué)式高倍量測(cè)顯微鏡，其優(yōu)點(diǎn)為彩色影像、可以即時(shí)觀察量測(cè)，但解析能力上則受制于可見光波長(zhǎng)的限制，且3D影像上總是沒有電子掃描顯微鏡影像來得立體及層次分明，針對(duì)數(shù)μ的3D量測(cè)無法得到優(yōu)異的再現(xiàn)性。

如果利用電子掃描顯微鏡，也有其不便及限制之處，除了黑白影像外，在檢查標(biāo)本的製作上非常麻煩，除了要做微小薄片處理外，碰到無法導(dǎo)電的材料，還要做鍍膜處理以及抽真空等繁瑣處理，無法做到有效率及大范圍的即時(shí)觀察量測(cè)。而雷射掃描顯微鏡則利用波長(zhǎng)408nm的雷射光掃描被測(cè)物表面，并且以0.01μ的段層掃描取樣，再將影像予以重組以得到直逼電子顯微鏡的高解像力及對(duì)比，因此可同時(shí)兼具光學(xué)顯微鏡之即時(shí)彩色影像觀察及電子掃描顯微鏡高解析精確量測(cè)之特色。