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本文標(biāo)題："AFM的應(yīng)用非常廣，只要是材質(zhì)的界定都可以應(yīng)用"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2012-5-9 1:23:06 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
AFM的應(yīng)用
AFM的應(yīng)用非常廣，只要是材質(zhì)的界定皆可考慮運用AFM的高解析度，在半導(dǎo)體故障分析的領(lǐng)域中可用來觀察Si wafer的平坦度、濺鍍材質(zhì)或薄膜觀察及與其它SPM的結(jié)合輔助判讀
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