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本文標(biāo)題："請問一下干涉顯微鏡應(yīng)用范圍"

請問一下有人知道干涉顯微鏡"應(yīng)用"在哪些方面嗎?

程雙頻直線度同軸度測量激光干涉顯微鏡：
    準(zhǔn)直測量方法及準(zhǔn)直測量干涉顯微鏡主要用于解決機械製造和安裝中的準(zhǔn)直測量問題。例如：汽輪機、水輪機、發(fā)電機的同軸度，不連續(xù)重型電機鏡板的平面度，超長導(dǎo)軌的直線度等。這些測量要求激光準(zhǔn)直儀應(yīng)具有以下特徵：能連續(xù)測量也能間斷測量，間斷測量是指測量過程需要傳感器離開光路后又再回到光路中（光路被擋住后又恢復(fù)）同時又不影響測量結(jié)果，這是同軸度和有孔鏡板平面度測量必須的；對激光束的平漂和角漂不敏感；對大氣擾動不敏感。在0-30m 距離能保持1ppm的不確定度，1微米的分辨率。以前的激光準(zhǔn)直儀沒有能達到前述要求。從非線性動力學(xué)的高度對大氣擾動進行了理論和實驗研究，得出了偏離 '共路'的程度和補償可能性之間的定量規(guī)律；提出了小分束角的雙渥拉斯頓干涉顯微鏡設(shè)計，在30m處8mm光斑中心只分開2.6mm；從理論和實驗上證明端部反射鏡應(yīng)採用直角稜鏡而不能採用四面體或貓眼才能保證對平漂和角漂的抑制；準(zhǔn)直測量分辨率1微米、量程達到3.6mm