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本文標題："金剛石碳膜DLC架構(gòu)的制造技術(shù)"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2018-12-20 23:23:31 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
金剛石碳膜DLC架構(gòu)的制造技術(shù)
類金剛石碳膜(DLC)具有很多有吸引力的性能，如高彈性模量、高硬度
、化學(xué)惰性和疏水性能。DLC膜有望用于建造在潮濕和惡劣環(huán)境不退化的微
米和納米尺度架構(gòu)。Li和Chua給出了在納米結(jié)構(gòu)設(shè)計中DLC膜相
比Si基材料的應(yīng)用潛力。他們討論了DLC的合成和物理性能，DLC用于微機
械和納米機械設(shè)備的潛力，以及聚焦離子束(FIB)和FIB一輔助CVD來設(shè)計和
制造DLC架構(gòu)的制造技術(shù)。作者也提及了薄膜腐蝕和納米架構(gòu)設(shè)計優(yōu)化等DL
C膜設(shè)計和制造技術(shù)難題。由于它們的生物相容性良好，納米結(jié)構(gòu)DLC膜也
可以用于生物傳感器和納流控系統(tǒng)，以實現(xiàn)單分子傳感和檢測。作者建議
采用綜合底部．向上和頂部．向下的方法制造高性能復(fù)合納米架構(gòu)用于DLC
基設(shè)備。在后續(xù)章節(jié)中Jin等人進一步討論了基于薄膜生長的納米組裝。
在特殊情況下，高性能納米級設(shè)備需要制備高取向性和規(guī)則陣列的納
米結(jié)構(gòu)，以獲得有利的各向異性性能或增加設(shè)備分立元件(如晶體管)的面
密度。高取向性1 D納米線結(jié)構(gòu)可以提高面密度，同時可以調(diào)節(jié)電學(xué)和光學(xué)
性能。
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