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本文標題："微型注模工藝-微型元件制備技術檢測顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2018-8-23 20:56:31 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
微型注模工藝-微型元件制備技術檢測顯微鏡
微型元件制備技術
近年來微型元件制備技術，已成為一個重要發(fā)展方向。在21世
紀，滲透到科學技術各個部門的一個關鍵技術就是微系統(tǒng)技術。有
人認為微系統(tǒng)技術是納米技術和人類社會的紐帶。微系統(tǒng)技術在資
訊科技、通訊、光電子、醫(yī)療、汽車等領域有廣泛的應用。它已成
為提升競爭力的關鍵要素。它影響人類生活的多個方面。計算機和
手機就利用微系統(tǒng)技術所制造的萬億個微型元件完成其功能，使人
們可以在信息世界中遨游。微系統(tǒng)技術中一個重要組成部分，就是
微型元件制備工藝。高分子材料及金屬材料早就進入微型元件的生
產(chǎn)，而陶瓷材料則是后進者。原有的傳統(tǒng)制備工藝不一定適用，而
采用了新的制備工藝。常用的有：微型注模工藝、低壓力注模、熱
注工藝、印花瓷帶工藝、離心澆注、凝膠溶膠澆注、激光加工工藝
等等。最精細的激光加工，例如在人頭發(fā)(直徑60μm)上刻字�？�
切割、鉆孔、標記、拋光。分辨率可達0．5μm。一些微型傳感元
件，常采用功能陶瓷制造，可以監(jiān)控人們?nèi)粘Ｉ�。例如醫(yī)學診斷
用的微型超聲傳感器，是用4000個PZT壓電瓷柱(邊長100μm，高40
0μm)，排列在很小空間內(nèi)構成的。一些微型傳感器(如同人的神經(jīng)
)，它送出測得的訊號到微處理器(相當于人腦)，再控制驅(qū)動器(相
當于肌肉)從而完成反饋動作。
這類微型元件的大量生產(chǎn)，主要是因為當時引入了厚膜及多層
工藝技術(其中精密絲網(wǎng)印刷起主要作用)。生產(chǎn)中多用電腦控制，
可自動化、大批量生產(chǎn)。德國某陶瓷材料研究中心，建立了微裝配
系統(tǒng)，能滿足傳送、裝配、測量、調(diào)試等工序，其中一個主要部件
為工具變換系統(tǒng)。國際上已發(fā)展出一些結構部件，如顯微光學、顯
微驅(qū)動、顯微流動、顯微醫(yī)療等以及微型泵、微混合器、吸附器、
微型反應器等，并實現(xiàn)連續(xù)化生產(chǎn)。微型技術中所用陶瓷材料主要
為壓電鐵電等功能陶瓷，但也常涉及氧化鋁瓷、氧化鋯瓷及羥基磷
灰石瓷等。
已能制造的微型機械產(chǎn)品有：
(1)微型泵，如分幣大小、機殼用硅制造，將極微的壓電驅(qū)動
片裝入殼內(nèi)，通電后引發(fā)振動，可抽吸液體或氣體
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