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本文標(biāo)題："MEMS陀螺儀測量單軸或多軸旋轉(zhuǎn)的角速度"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2018-7-15 0:46:59 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
MEMS陀螺儀測量單軸或多軸旋轉(zhuǎn)的角速度
加速度計(jì)
有五種形式的運(yùn)動(dòng)傳感：加速度、振動(dòng)(周期性加速度)、沖擊(瞬間加
速度)、傾斜(靜態(tài)加速度)和旋轉(zhuǎn)。除了旋轉(zhuǎn)，這些運(yùn)動(dòng)形式都可以用加速
度計(jì)進(jìn)行測量。因此，加速度計(jì)得到了廣泛的應(yīng)用，從設(shè)備跌落過程中觸發(fā)
硬盤保護(hù)系統(tǒng)，到游戲中的手勢識別等。MEMS加速度計(jì)通�？梢允请娙菪突�
壓阻型的。電容型加速度計(jì)由粘貼在基底上的固定金屬板和粘貼在框架上的
可移動(dòng)金屬板組成。加速度帶來的框架位移，導(dǎo)致差分電容的變化，從而被
板上電路測量得到。電容型加速度計(jì)具有較高的靈敏度，應(yīng)用于低幅度、低
頻率器件中。壓阻型加速度計(jì)包含一個(gè)電阻材料，它與懸臂梁結(jié)合在一起，
懸臂梁將隨著加速度的出現(xiàn)而發(fā)生彎曲，從而使電阻材料發(fā)生變形，產(chǎn)生一
個(gè)與加速度大小相關(guān)的電阻變化。壓阻型加速度計(jì)‘更加堅(jiān)固耐用，可應(yīng)用
于需要更高幅度和頻率響應(yīng)的場合
陀螺儀
MEMS陀螺儀測量單軸或多軸旋轉(zhuǎn)的角速度，。陀螺儀可以準(zhǔn)
確地測量自由空間中的復(fù)雜運(yùn)動(dòng)。它們不采用需要軸承的旋轉(zhuǎn)部件，因此更
易于采用半導(dǎo)體加工工藝對其進(jìn)行小型化和批量生產(chǎn)。幾乎所有的MEMS陀螺
儀都利用振動(dòng)機(jī)械元件(檢測質(zhì)量)來感知旋轉(zhuǎn)，通過感知由科里奧利(Corio
lis)加速度引起的同z一結(jié)構(gòu)的兩種不同振動(dòng)模式之間的能量轉(zhuǎn)移來實(shí)現(xiàn)。
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