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本文標(biāo)題："光譜技術(shù)測定樣品精度輪廓計(jì)量顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2017-12-23 21:30:40 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
光譜技術(shù)測定樣品精度輪廓計(jì)量顯微鏡
使用光譜技術(shù)測定樣品的基本內(nèi)容如下：首先，采用現(xiàn)有的標(biāo)
準(zhǔn)分析技術(shù)測出待測樣品的性質(zhì)和數(shù)據(jù)；然后，使用光譜裝置和儀
器采集樣品的光譜數(shù)據(jù)，并用各種分析方法對光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行分析；
最后，建立光譜數(shù)據(jù)的數(shù)學(xué)模型并將光譜法的結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)法的測量
結(jié)果進(jìn)行關(guān)聯(lián)，即得到以標(biāo)準(zhǔn)方法為參考的定量和定性分析關(guān)系的
校正模型，并使用此數(shù)學(xué)模型對預(yù)測集樣品進(jìn)行預(yù)測，以各種評價
參數(shù)判斷所建立模型的優(yōu)劣，如穩(wěn)定性、泛化能力等。盡管光譜分
析屬于間接檢測和二次檢測技術(shù)，但是光譜分析技術(shù)在與標(biāo)準(zhǔn)方法
關(guān)聯(lián)后所建立的關(guān)于物質(zhì)性質(zhì)的模型與常規(guī)檢測方法并無系統(tǒng)偏差
，并且其結(jié)果更加穩(wěn)定，精度更高。
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