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本文標(biāo)題："多種不同微電子工藝可用來(lái)制造常見(jiàn)的微電子器"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2017-10-31 22:11:31 本站主頁(yè)地址：http://m.vndmy.cn
多種不同的微電子工藝可用來(lái)制造常見(jiàn)的微電子器
微細(xì)加工技術(shù)
現(xiàn)在，已有多種不同的微電子工藝可用來(lái)制造常見(jiàn)的微電子器
件，如運(yùn)算放大器、邏輯門(mén)電路、微處理器等。其中許多工藝技術(shù)
，有時(shí)甚至是全部標(biāo)準(zhǔn)工藝，對(duì)開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)微傳感器都是很有價(jià)值
的。例如，可以用標(biāo)準(zhǔn)雙極工藝制造熱微傳感器，因?yàn)殡p極工藝制
備的p-n結(jié)二極管，其在電流不變時(shí)的正向電壓，或n—P-n型晶體
管的基極一發(fā)射極間電壓與溫度有一定的比例關(guān)系。制造常用二極
管和熱敏二極管的工藝幾乎沒(méi)有什么不同，主要差別是器件的設(shè)計(jì)
，或許最后的封裝也有些差別。在大多數(shù)實(shí)際情況中，最理想的是
，只要可能就盡量利用標(biāo)準(zhǔn)工藝流程，或者在標(biāo)準(zhǔn)工藝流程之外，
或在線(xiàn)工藝中插入一到幾個(gè)非標(biāo)準(zhǔn)工序。集成到什么程度，這是一
個(gè)苛刻的設(shè)計(jì)問(wèn)題，所以設(shè)計(jì)者往往首先考慮混合電路的解決方案
，但其中也將借用標(biāo)準(zhǔn)微電子工藝及其封裝技術(shù)。將微電子電路集
成到MEMS中去也是一個(gè)難以決斷的問(wèn)題，因?yàn)槠渥罱K產(chǎn)品很復(fù)雜。
所以本書(shū)將論述各種可能的技術(shù)途徑，甚至包括首先從微電子學(xué)著
手，還是首先從MEMS著手等問(wèn)題。為此在本章及以后幾章中先扼要
地介紹標(biāo)準(zhǔn)微電子工藝，以及需要增加的其他非標(biāo)準(zhǔn)材料和工藝技
術(shù)。
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