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本文標(biāo)題："激光加工測(cè)量聚焦頭到工件的距離分析顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2016-5-21 0:16:16 本站主頁(yè)地址：http://m.vndmy.cn
光束特性傳感器
在激光加工過(guò)程中，光束的質(zhì)量在實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的加工中扮
演了重要的角色。為此，正在開(kāi)發(fā)用于監(jiān)測(cè)光束功率分布的傳感器
。一個(gè)普通的方法是用一個(gè)帶有針孔的桿掃描光束。通過(guò)應(yīng)用一個(gè)
反射鏡，輻射被反射到傳感器。應(yīng)用此系統(tǒng)，通過(guò)光束的強(qiáng)度分布
可被測(cè)量到。另一個(gè)系統(tǒng)，需要在光束路徑上安裝一個(gè)細(xì)線柵格，
從單根線的溫度變化，可重新構(gòu)造一個(gè)完全的光束功率分布。聚焦
位置和氣體壓力
在工件和聚焦頭部的偏移經(jīng)常引起過(guò)程誤差。尤其是在切
削應(yīng)用中，在原材料內(nèi)部保持聚焦很重要。為了解決這個(gè)問(wèn)題，電
容傳感器可以測(cè)量聚焦頭到工件的距離，并且通過(guò)應(yīng)用一個(gè)控制線
圈，當(dāng)表面出現(xiàn)不規(guī)則時(shí)，進(jìn)行一個(gè)補(bǔ)償運(yùn)動(dòng)。另外，應(yīng)用更現(xiàn)代
的系統(tǒng)來(lái)控制過(guò)程氣體壓力，以便不再有波動(dòng)影響最終的切削。這
些傳感器普遍應(yīng)用于二維坐標(biāo)，但還沒(méi)有用于三維坐標(biāo)的。
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