---
---
---
(點(diǎn)擊查看產(chǎn)品報(bào)價(jià))
光學(xué)密度測(cè)量光學(xué)鏡頭和光楔組成光電測(cè)量?jī)x器
提高位移測(cè)量系統(tǒng)分辨能力的一條主要途徑是,采用間
距內(nèi)插法。它可以人為地提高位移讀數(shù)的分級(jí)。目前已流行
的內(nèi)插法有下列幾種:
光學(xué)方法
它借助光學(xué)系統(tǒng)和光接收器將測(cè)量元件(光柵)的間距
分割成許多獨(dú)立的測(cè)量通道。分割效應(yīng)是這樣來實(shí)現(xiàn)的:在
光通量空間,布置許多特殊光學(xué)鏡頭和光楔,組成光電系統(tǒng)。
此法可以保證很高的分割級(jí)。它的主要缺點(diǎn)就是光學(xué)通道調(diào)
整工作十分復(fù)雜,并且在使用過程中還不斷發(fā)生散焦現(xiàn)
象凹引。光學(xué)內(nèi)插法可以獲得1000線/毫米或更高的分辨率。
通常采用圓形刻度盤作為掃描元件?潭染的多少取決
于內(nèi)插要求和螺旋線尺寸。螺旋線的間距等于標(biāo)度盤上兩刻
線之間的距離。有時(shí),在類似的插值器中采用有兩種刻度
(即讀數(shù)刻度和內(nèi)插刻度)的度盤。這兩個(gè)刻度尺寸的位置
只錯(cuò)開一個(gè)很小的值,即最小內(nèi)插值。
在帶有隨動(dòng)元件的光一機(jī)插值器中,采用補(bǔ)償裝置(光
楔、分光棱鏡等等)來進(jìn)行內(nèi)插。同時(shí),不斷給出測(cè)量的信
息。
光一機(jī)內(nèi)插法總的缺點(diǎn)是,它的響應(yīng)速度比較低。這是
由于機(jī)械元件的旋轉(zhuǎn)速度有限所致。
光學(xué)密度測(cè)量部件向中斷部件發(fā)出測(cè)量完畢信號(hào)后,中
斷部件就向計(jì)算機(jī)發(fā)出訪管指令。于是電子計(jì)算機(jī)就停止正
在執(zhí)行的程序而轉(zhuǎn)入管理程序,即:接收光學(xué)密度代碼,并
將它們轉(zhuǎn)移到空出來的存儲(chǔ)器;發(fā)出新的位移代碼。此后,
不斷重復(fù)這種循環(huán)。
所有資料用于交流學(xué)習(xí)之用,如有版權(quán)問題請(qǐng)聯(lián)系,禁止復(fù)制,轉(zhuǎn)載注明地址
上海光學(xué)儀器一廠-專業(yè)顯微鏡制造商 提供最合理的
顯微鏡價(jià)格