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本文標(biāo)題："金屬晶粒分別特征加工工藝分析金相顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2015-6-7 0:11:05 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
金屬晶粒分別特征加工工藝分析金相顯微鏡
因此對(duì)晶體取向必須引起足
夠的重視．可能預(yù)期到的與晶體取向有關(guān)的工藝．一般地說，如
果一種物理性質(zhì)不是標(biāo)量，則在大多數(shù)晶態(tài)材料中它將是方向敏
感的叫．用二階張量表示的性質(zhì)，幾乎包括半導(dǎo)體工藝中通常最
感興趣的所有性質(zhì)(電阻率、熱傳導(dǎo)率、擴(kuò)散系數(shù))，它們?cè)诹⒎骄?/div>
系中都是與方向無關(guān)的(而目前主要的半導(dǎo)體大多數(shù)都是屬于立
方晶系的)．
然而，在試圖事先預(yù)言某些測試行為方面卻存在一些問題．
問題產(chǎn)生的原因是由于難以確定某些性質(zhì)(例如硬度、腐蝕速
度)的確切的定義，或是由于對(duì)某一性質(zhì)的顯然簡單的測試中卻
可能以某種難以捉摸的方式意外地牽連了一些附加現(xiàn)象
測定晶體取向有多種方法．這些方法大致可分蕘
兩大類：一類是借助于直接觀察一些可辨別的特征，如生長小平面
或腐蝕坑；另一類是X射線衍射．所有直觀的方法都需要對(duì)所硼
究的具體材料的生長、腐蝕和破裂等特征事先有所認(rèn)識(shí)．X射線
定向法不需要上述附加的知識(shí)，但卻需要專門的設(shè)備。對(duì)上述的
任一種情況，都假定被檢測的半導(dǎo)體的晶體結(jié)構(gòu)是已知的
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