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有關(guān)碳對形成滲硅層過程的影響,以及對滲硅層中的氣
孔的形成和消失的影響的假定已被金相研究所證證
對垂直于擴散流方向上的氣孔線尺寸的統(tǒng)計.分析說明,
在成長層中氣孔的線尺寸的變化和它的體積部分的變化相同
隨體積部分的增加,氣孔的平均直徑也增加;在燒
結(jié)周期時,無論聶氣孔的數(shù)妞還是氣孔的尺寸大小都減小。看
來,滲硅時氣孔的形成階段既有新產(chǎn)生的氣孔也有早已形成
·的氣孔的增長而且氣孔在滲層中的聚集得到大大的發(fā)展。
碳對滲硅層中氣孔的總氣孔率、形狀、尺寸和位置都有明
顯的影響。增加鋼中的含碳蠶有利于
在較低的滲硅溫度下得到無氣孔的滲硅層。定量金相方法可
以把這一觀點說得更完全和準(zhǔn)確。
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