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本文標(biāo)題："測(cè)量顯微鏡的整個(gè)儀器的設(shè)計(jì)制造和定制廠商"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2014-8-16 7:51:35 本站主頁(yè)地址：http://m.vndmy.cn
測(cè)量顯微鏡的整個(gè)儀器的設(shè)計(jì)制造和定制廠商
因?yàn)槭菧y(cè)量微小的位移，所以基準(zhǔn)部分的直線運(yùn)動(dòng)精度要
在0.01微米以內(nèi)。對(duì)于這樣的機(jī)構(gòu)和結(jié)構(gòu)，特別要討論下述幾
點(diǎn)。
(a)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的導(dǎo)向裝置像本儀器這樣高精度測(cè)量顯微鏡的情
況，過(guò)去予以忽略的導(dǎo)向而的摩擦，如前所述會(huì)成為振動(dòng)源而影
響測(cè)定值，作為盡量減少摩擦影響的機(jī)構(gòu)，
因此，基準(zhǔn)部分的運(yùn)動(dòng)，是X一Y平面上的圓弧運(yùn)動(dòng)。但是，
測(cè)量距離最好是20微米左右。所以，如果從導(dǎo)向裝置的旋轉(zhuǎn)中
心到測(cè)量點(diǎn)為止的距離(旋轉(zhuǎn)半徑)大些，就可以看作是近似直
線運(yùn)動(dòng)。
(b)在檢測(cè)部分采用了使用彈簧的觸針夾持機(jī)構(gòu)，這種.機(jī)
構(gòu)容易受到外部振動(dòng)的影響，所以檢測(cè)部分安裝在固定支柱上，
在運(yùn)動(dòng)部分安裝被測(cè)物體的夾持裝置，采用了對(duì)檢測(cè)部分移動(dòng)被
測(cè)物體的方法。
(c)送進(jìn)裝置在測(cè)量顯微鏡的整個(gè)儀器中，是這種裝置的最
大的振動(dòng)源。因此，把振動(dòng)的產(chǎn)生抑制在最低限度的同時(shí)，重要
的是要盡量使產(chǎn)生的振動(dòng)不要傳給基準(zhǔn)部分，檢測(cè)部分而進(jìn)行這
樣的設(shè)計(jì)。為此，特別是從驅(qū)動(dòng)部分向運(yùn)動(dòng)部分的基準(zhǔn)移動(dòng)臺(tái)傳
榆動(dòng)力的連結(jié)部分的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)會(huì)成為問(wèn)題，
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