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本文標題："表層結(jié)構(gòu)分析儀器的特點-試樣表面粗糙度測量"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2014-8-2 6:54:49 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
表層結(jié)構(gòu)分析儀器的特點-試樣表面粗糙度測量
能譜分析儀(EDS)
能譜儀是最常用的表層成分分析儀器，經(jīng)常在做掃描電鏡時順便可對感興趣的微區(qū)做
元素成分分析。能譜儀是利用銼漂移硅Si(Li)半導(dǎo)體探測器對樣品發(fā)生的特征x射線能量
采用能量分散講儀進行分析比對，從而識別微區(qū)的元素成分。
得到的能譜曲線
儀器輸出的特征X射線脈沖的高度可表達能量，脈沖的計數(shù)量代表X射線的強度.
能量表示在橫坐標上，所有原子序數(shù)的元素的X射線能量是特定的，所以各元素在橫坐標上的
排序是固定的。一旦檢測到某一元素的X射線，就會在橫坐標的特定位置上出現(xiàn)脈沖，該元
素的量越多則脈沖的記數(shù)越多，在縱坐標上顯示的峰值就越高。
由于Si(Li)品體必須在深冷溫度下才能防止Li的揮發(fā)和長期可正常工作，需用液氮保持低溫。
能譜分析可用于Bc -U(原子序4-92)的各元素的定性分析，定量可作為重要參考。
而原子序小于4的H, He, Li是不能分析的，至于常用的C(碳)等輕元素的定量分析很不準確，
而氧元索的定量分析是可信的。探測的極限濃度(成分)為10-1000 μL/L
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