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利用晶片堆疊來達(dá)到小體積大容量-晶片
檢測顯微鏡
3D IC是利用晶片堆疊來達(dá)到小體積大容量,晶片聯(lián)結(jié)距離縮短,使通訊速率更高。由于其可同時滿足電子產(chǎn)品在小型化、
高效能與低成本的多項需求,而成為半導(dǎo)體業(yè)界所爭相關(guān)注的新寵兒。但晶片堆疊產(chǎn)生了許多新的檢測需求,
這些需求異于過去的檢測設(shè)備,即使過去稱霸世界的半導(dǎo)體檢測設(shè)備大廠也無法充份滿足其需求。
我們看到許多新的供應(yīng)商,提出各式各樣的新設(shè)備技術(shù),國外設(shè)備商都看到這個新機會,只可惜并沒有國內(nèi)檢測設(shè)備商
積極投入。量測中心為掌握這一次難得的切入機會,在資源缺乏的狀況,幾年來投入3D IC檢測設(shè)備開發(fā),
建立了一些專利技術(shù)及雛型檢測機臺。但很可惜,國外廠商合作意愿反而比國內(nèi)廠商高。藉重本文,
我們把過去發(fā)展的3D IC檢測技術(shù),拋磚引玉,希望有機會促成國內(nèi)3D IC半導(dǎo)體廠、檢測設(shè)備廠、研究單位、
甚至政府單位攜手,由檢測設(shè)備切入,建立信心,再逐步擴展至其它設(shè)備的發(fā)展。并藉此有機會,
把過去國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中,半導(dǎo)體設(shè)備段落連接起來,也確保我們的半導(dǎo)體設(shè)備未來不會受制于人
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