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本文標(biāo)題："光學(xué)研磨拋光技術(shù)-在微光學(xué)元件中有許多的改進(jìn)方法"

光學(xué)研磨拋光技術(shù)-在微光學(xué)元件中有許多的改進(jìn)方法

在微光學(xué)元件中有許多的改進(jìn)方法，而我們是以光學(xué)研磨拋光

技術(shù)作為我們改進(jìn)微光學(xué)元件的表面粗糙度的問(wèn)題，并可增加其反

射效率或透射效率，現(xiàn)在研磨拋光技術(shù)比以往進(jìn)步很多，但主要是

順應(yīng)大量加工和省力化。

在研磨加工機(jī)械方面，我們使用壓電陶瓷馬達(dá)作為我們的主要

驅(qū)動(dòng)器，其可作為一維的精密推動(dòng)，移動(dòng)范圍可從微米級(jí)（μm）至

厘米級(jí)（mm），而移動(dòng)速度可控制范圍從（10μm/sec）至（10mm/sec）。

另外，我們可在其上加上一向下之正向壓力從（0.01NT）至（10NT），

以進(jìn)行我們的微光學(xué)元件研磨拋光。

而我們先以兩片直角柱狀鏡作研磨工件，兩片互相相對(duì)，溝槽

對(duì)溝槽，對(duì)其兩溝槽作研磨，但是因其皆為微�。�100μm），故難以

對(duì)準(zhǔn)，所以我們利用我們實(shí)驗(yàn)室已有之 moire 疊紋校準(zhǔn)法對(duì)其加以

修正，當(dāng)兩溝槽不為平行就會(huì)有 moire 疊紋的出現(xiàn)，故當(dāng)兩溝槽為

平行時(shí)，就不會(huì)有 moire 疊紋的出現(xiàn)。見(jiàn)圖（5-7），此圖即為兩溝

槽為有傾斜之狀，其 moire 疊紋非常之明顯，所以我們就必須加以

修正，當(dāng)其圖沒(méi)有 moire 疊紋的出現(xiàn)就是我們所要之兩溝槽對(duì)準(zhǔn)平

行，

而此實(shí)驗(yàn)我們還在進(jìn)行當(dāng)中，并且是我們將來(lái)首要進(jìn)行之工作，

以此改進(jìn)方法相信在未來(lái)會(huì)大大的應(yīng)用，在以 LIGA或是以LIGA-like

制作微光學(xué)元件，皆可解決此方法制作上之缺點(diǎn)，滿足將來(lái)更高品

質(zhì)之光學(xué)微系統(tǒng)需求。