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本文標題："掃瞄穿透式電子顯微鏡-試片厚度或物鏡像差"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-1-19 0:20:34 本站主頁地址：http://m.vndmy.cn
高角度環(huán)狀暗場影像技術為在電鏡系統(tǒng)中加裝一個高角度環(huán)狀暗場的偵測器，
主要負責偵測50~150 mrad之高角度散射電子而成像。此高角度散射電子機率一般來說正比于原子序平方，
也就是指原子序越大，散射機率越高。故此種影像訊號強度大約與材料原子序的平方成正比，
所以又稱為原子序對比影像 (Z-contrast image)[2][3]。因此若是在掃瞄穿透式電子顯微鏡的原子級解析度下透過偵測器接收訊號，
即可大概分辨出原子彼此間的差異。此外，由于HAADF的成像主要是由入射電子所撞擊到的試片原子其原子序所影響，
所以HAADF image較不會受到Dynamical Diffraction的作用，對于試片厚度或物鏡像差、散焦，也不會有明顯的改變。
其空間解析度主要是由所聚焦的入射電子束大小所決定。
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