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本文標(biāo)題："黏附微顆粒的襯底表面微觀結(jié)構(gòu)分析顯微鏡"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2020-7-23 13:12:45 本站主頁(yè)地址：http://m.vndmy.cn
振動(dòng)分離技術(shù)的原理：在垂直于黏附微顆粒的襯底表面的方向上
加正弦振動(dòng)的加速度，這樣就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的慣性力作用在微顆粒上，
當(dāng)振動(dòng)的加速度達(dá)到一定程度時(shí)，在慣性力作用下微顆粒就會(huì)克服黏
附力的作用而從襯底表面分離，由此，用微顆粒剛從表面分離時(shí)的慣
性力來(lái)間接衡量黏附力的大小。
為壓縮空氣；4為層流箱；5為空氣暴露試驗(yàn)箱，其中虛線部分表示
輸入電腦的相關(guān)參數(shù)；襯底表面的正弦振動(dòng)是用超聲波壓電驅(qū)動(dòng)器來(lái)
驅(qū)動(dòng)的，該驅(qū)動(dòng)器可調(diào)節(jié)其頻率和激發(fā)電壓，同時(shí)也可作為溫度傳感
器，被測(cè)試的襯底安裝在與驅(qū)動(dòng)器連接的適配器上；驅(qū)動(dòng)器提供的最
大頻率取決于驅(qū)動(dòng)器的溫度及其上安裝的襯底質(zhì)量，襯底正弦振蕩加
速度的校準(zhǔn)是通過(guò)激光振動(dòng)計(jì)以一定的頻率發(fā)射而產(chǎn)生的激發(fā)電壓和
驅(qū)動(dòng)器的溫度來(lái)確定的；襯底放置在流道的交叉口，當(dāng)襯底的加速度
增加到一定程度時(shí)，慣性分離力就會(huì)超過(guò)黏附力，微顆粒就會(huì)脫離表
面，該過(guò)程可以通過(guò)顯微鏡、CCD攝像機(jī)和影像分析軟件連續(xù)實(shí)時(shí)地進(jìn)
行記錄和 激光分離技術(shù)
激光分離技術(shù)的原理：脈沖激光技術(shù)可以使光能量在很短的時(shí)問(wèn)
內(nèi)聚集，這個(gè)瞬時(shí)的力（也即光壓）可用來(lái)克服微顆粒的黏附力，且
黏附力的大小可由微顆粒分離時(shí)脈沖光的在樣品盒上方用一物鏡配合C
CD組成一套顯微系統(tǒng)，并連接到計(jì)算機(jī)以監(jiān)測(cè)襯底表面樣品的分布情
況；將試樣放置于樣品盒內(nèi)，樣d矗盒是用兩片藍(lán)寶石玻璃裝配起來(lái)的
小室；在測(cè)試前，將一定粒徑的樣品微顆粒小球先經(jīng)過(guò)清洗并過(guò)濾，
烘干后用高倍顯微鏡觀察大小均勻后再用高壓氣流吹到干凈的藍(lán)寶石
玻璃表面；在He - Ne激光器的輔助下將Nd. YAG單脈沖激光對(duì)準(zhǔn)所要
觀察的樣品，并使之與盟微鏡視場(chǎng)相一致；經(jīng)過(guò)一系列能量依次增加
的單脈沖后，可觀察到微顆粒小球位置的變化，在比較低的單脈沖能
量下，觀察不到微顆粒小球的移動(dòng)，隨著脈沖能量的逐漸增加，不斷
會(huì)有微顆粒從表面分離；
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