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本文標(biāo)題："問(wèn)如何測(cè)量真空濺鍍膜厚或量測(cè)濺鍍層的膜厚？"
新聞來(lái)源：未知 發(fā)布時(shí)間：2011-12-6 0:06:34 本站主頁(yè)地址：http://m.vndmy.cn
請(qǐng)問(wèn)真空濺鍍膜厚要如何量測(cè)？
我是濺鍍鋁材，請(qǐng)問(wèn)如何確認(rèn)或量測(cè)濺鍍層的膜厚。
以下的方法給您參考看看：
1. 如果你所使用的濺鍍機(jī)有裝石英震盪式監(jiān)控器，可以在製程中監(jiān)控你要的膜厚。
2. 鍍膜的同時(shí)搭一片測(cè)試片，鍍膜完成后以表面輪廓描繪儀(Surface Profiler)
量測(cè)膜厚。由于表面輪廓描繪儀是利用探針在試片表面感應(yīng)起伏，所以測(cè)試片表面
需保留部分區(qū)域未被濺鍍，才能量測(cè)薄膜的高低差(膜厚)，最簡(jiǎn)單的方式是在測(cè)試
片部分區(qū)域貼真空膠帶，或者透過(guò)黃光製程，用光阻在測(cè)試片表面製作簡(jiǎn)單的圖形。
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